方法一 先计算光程差,再利用暗条纹条件来计算薄膜厚度。
方法二 利用相邻暗条纹对应的薄膜厚度差来计算。
 
例题 05-18-06-02    在半导体器件生产中,为精确地测定硅片上的 薄膜厚度,将薄膜一侧腐蚀成尖劈形状,如图所示。用波长为 的钠黄光从空气中垂直照射到 薄膜的劈状边缘部分,共看到5条暗条纹,且第5条暗条纹恰位于图中 处,试求此 薄膜的厚度(已知: 的折射率为 , 的折射率为 )。

解: 本题可用两种方法求解。

    方法一:利用暗条纹条件来计算薄膜厚度
薄膜的厚度为 ,计算此薄膜上、下表面反射光的光程差

。    

。     

由暗条纹条件: ,式中
    方法二:利用相邻暗条纹对应的薄膜厚度差来计算薄膜厚度。

设相邻暗条纹对应的 薄膜厚度差为 ,则

设第5条暗条纹对应的薄膜厚度为 ,则 ,而